壓電物鏡掃描器

P72-壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內置高性能壓電陶瓷，閉環精度高，響應速度快、滿行程線性度達納米量級，可進行激光聚焦，已廣氾應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領域。