壓電偏轉鏡

P33壓電偏轉鏡為兩軸θx、θy運動壓電偏轉鏡，4個壓電陶瓷結構設計而成，每軸採用兩個壓電陶瓷，以推拉模式形成偏轉運動，採用橋式連接電路控制，四個執行機構以90°角平分放置，是成堆的差異控制分布形式。 偏轉角度13.5mrad, 分辨率可達0.02urad。