中空式压电扫描台是移动台面有透空通孔的直线压电平台,可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率,且具有非常 的运动线性度和平面度,及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别,例如生物识别技术。而且,它具有一个独特的特点,在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。