压电物镜扫描器

P72-压电物镜扫描器为小体积大行程压电物镜扫描器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。