压电偏转镜

P33压电偏转镜为两轴θx、θy运动压电偏转镜，4个压电陶瓷结构设计而成，每轴采用两个压电陶瓷，以推拉模式形成偏转运动，采用桥式连接电路控制，四个执行机构以90°角平分放置，是成堆的差异控制分布形式。 偏转角度13.5mrad, 分辨率可达0.02urad。